青青草激情视频盤在製作過程會遇到什麽問題？

      在外延生長範疇，高純青青草激情视频盤是必不可少的。它在外延生長中起到加熱和裝載半導體晶圓的效果。現在，主流外延設備廠商配套的青青草激情视频盤在結構上根本相同，均選用在青青草激情视频盤基座上規劃一個晶圓形狀的淺凹槽的方法來裝載晶圓。這種規劃在生長小標準的晶圓(比如說4寸半導體晶圓)來說是合理的，保護起來也很便利。但對於生長大標準的外延片，基於下降晶圓被旋轉的青青草激情视频盤甩出的風險，晶圓槽底部相對於青青草激情视频盤頂部的高度比小標準青青草激情视频盤大一些。
這種規劃導致了生長大標準外延片尤其是厚膜外延片出現了以下幾個問題：
      1.由於青青草激情视频盤與晶圓觸摸區域較多，在生長厚膜外延片時，沉積的外延層會添加青青草激情视频盤與半導體晶圓的粘接，使得生長完成後將外延片從青青草激情视频盤中無損傷取出較為困難，乃至可能導致裂片。
      2.因晶圓邊沿處較高的台階使得該區域存在氣體湍流，簡單停留較多的生長氣體，然後使得外延片厚度和載流子濃度均勻性較差。
      3.因外延爐一般選用射頻感應加熱，熱量傳遞的方向是沿著青青草激情视频盤徑向從邊沿到中心，使得青青草激情视频盤邊沿的溫度高於中心區域的溫度，這在大標準外延生長中尤為傑出。